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晟鼎大氣射流等離子清洗機(jī)在常壓環(huán)境下，利用高壓激勵(lì)電源產(chǎn)生等離子體，通過物理轟擊與化學(xué)反應(yīng)共同作用于傳感器表面，為保障汽車智能感知系統(tǒng)的高可靠性運(yùn)行提供了關(guān)鍵技術(shù)支撐。
在封裝行業(yè)中，等離子清洗是一種先進(jìn)的清洗技術(shù)，它可以通過改性表面，增強(qiáng)粘合、去除污染物，增強(qiáng)表面附著力、增強(qiáng)產(chǎn)品的質(zhì)量、提高良率、降低成本和提高生產(chǎn)效率等方面，為封裝過程提供更好的環(huán)境和條件。
通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、自由活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化、還原、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì)，從而優(yōu)化材料表面性能，實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕等目的。
晟鼎等離子去膠機(jī)廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、MEMS器件、光電子元件、先進(jìn)封裝等高科技領(lǐng)域的表面去膠、活化及表面處理等關(guān)鍵工藝。
傳統(tǒng)濕法去膠在面對復(fù)雜三維結(jié)構(gòu)、敏感材料和嚴(yán)苛尺度時(shí)局限性凸顯，而等離子干法去膠技術(shù)利用高能等離子體去除光刻膠，去膠徹底且速度快，無需引入化學(xué)物質(zhì)，避免造成材料損傷，已逐漸成為先進(jìn)封裝工藝鏈中不可替代的核心制程。
等離子清洗機(jī)(plasma cleaner)，利用等離子體來達(dá)到常規(guī)清洗方法無法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)，并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、自由基、光子以及其他中性粒子組成。等離子清洗機(jī)就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，從而實(shí)現(xiàn)清潔、改性、刻蝕、涂覆等目的。
