遠(yuǎn)程等離子源RPS
/ Remote Plasma Source, RPS利用原子的高活性強(qiáng)氧化特性，達(dá)到清洗CVD或其他腔室后生產(chǎn)工藝的目的。
提供大氣等離子清洗機(jī)、真空等離子清洗機(jī)、寬幅等離子清洗機(jī)、微波等離子清洗機(jī)、等離子去膠機(jī)、接觸角測量儀、USC干式超聲波除塵、遠(yuǎn)程等離子源RPS等一站式服務(wù)設(shè)備
利用原子的高活性強(qiáng)氧化特性，達(dá)到清洗CVD或其他腔室后生產(chǎn)工藝的目的。
